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cqwssc

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅的腐蚀 已有10人参与

大家好!
      一般硅的各向同性腐蚀液是HNO3 ∶HF = 3 ∶1 ,用于去除损伤层,大多数文献都只是这么简单指出。  但都没明确指出,HNO3 ∶HF 的比例是体积比,还是浓度比,或者是质量比或摩尔比。而且,不同级别的酸的浓度又不同。
       请高手,给予澄清啊!  并指明来源出处!
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THESUNISFUTURE
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lpszk

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫:)(金币+1):3q 2010-03-31 14:28
tongling921(金币+1):3x 2010-03-31 21:41
一般都是体积比
天道酬勤
2楼2010-03-31 11:08:32
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ljjbpp

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-03-31 14:28
tongling921(金币+1):3x 2010-03-31 21:41
一般都是体积比,如果要完全腐蚀掉,而且控制住速度,可以加一点醋酸!作为缓冲剂!   这是我在企业的工艺  出处就是企业!
女人能讲讲道理多好!
3楼2010-03-31 12:58:05
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cqwssc

铜虫 (初入文坛)

ljjbpp  你好!  
     请问你们的HNO3 浓度是68%,HF浓度是40%吗?
     HNO3 浓度是78%,HF浓度是48%?
THESUNISFUTURE
4楼2010-03-31 16:43:39
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ljjbpp

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个我不知道,我没有注意这个,我就知道倒的时候我就时按体积倒的!
女人能讲讲道理多好!
5楼2010-03-31 17:09:51
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)


tongling921(金币+1):3x 2010-03-31 21:41
通常是体积比,常规
6楼2010-03-31 20:39:45
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huangfumin

木虫 (著名写手)

哦,学习,呵呵。
7楼2010-04-03 20:14:56
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
tongling921(金币+1):3x 2010-04-07 23:26
tongling921(金币+1):3x 2010-04-07 23:26
楼主说得常用应该是指为按体积比1:3的49%HF(重量比)和70%HNO3(重量比)硅腐蚀液。文献可查看B.Schwartz等人的Chemical etching of Silicon。
8楼2010-04-05 19:21:36
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cqwssc

铜虫 (初入文坛)

谢谢   提供文献依据
THESUNISFUTURE
9楼2010-04-06 08:48:02
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虫子218

银虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
tongling921(金币+1):3x 2010-04-07 23:26
这个我又做实验,是体积比的
可以加醋酸,这样表面会更光滑些
10楼2010-04-07 19:17:28
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