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【求助】硅的腐蚀 已有10人参与
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大家好！ 一般硅的各向同性腐蚀液是HNO3 ∶HF = 3 ∶1 ，用于去除损伤层，大多数文献都只是这么简单指出。 但都没明确指出，HNO3 ∶HF 的比例是体积比，还是浓度比，或者是质量比或摩尔比。而且，不同级别的酸的浓度又不同。 请高手，给予澄清啊！ 并指明来源出处！ 共享！ |
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ljjbpp
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5楼2010-03-31 17:09:51