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wsty1987

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀膜选择什么基体材料好已有2人参与

(1)硅基体 和 普通的石英玻璃基体有什么区别?
(2)需用硅基体的话抛光的表面和未抛光表面镀膜有什么区别?
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perry_ping

新虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

当然是抛光的表面镀出来好了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2015-04-20 22:42:30
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wsty1987

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by perry_ping at 2015-04-20 22:42:30
当然是抛光的表面镀出来好了。

有什么原理吗?
硅和石英有什么区别?
3楼2015-04-21 08:50:45
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perry_ping

新虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
wsty1987: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-04-22 17:51:37
抛光的膜比较牢固

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2015-04-22 06:59:01
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wsty1987

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by perry_ping at 2015-04-22 06:59:01
抛光的膜比较牢固

那我再问一下,磁控溅射最薄可以做多厚的膜,50nm一下的可以吗
5楼2015-04-22 17:52:33
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zhilihu

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

Si片的表面质量要好很多包括结构取向;这样造成镀层与基体结合要容易些;对于你后面的去表征也好
6楼2015-04-23 14:42:32
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