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探讨下靶材致密度对薄膜的影响
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gao198907
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探讨下靶材致密度对薄膜的影响
大家对这个问题这么看?
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2015-01-25 21:32:18
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xslin64
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12楼
2015-01-26 00:06:19
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于士辉
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gao198907(金币+2): 谢谢参与
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2楼
2015-01-25 21:47:46
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jianjian1986
铜虫
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虫号: 1204339
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
只要是压得靶材是紧实的就可以了吧
。因为溅射的时候,还是会形成单个的离子的
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13楼
2015-02-09 22:05:29
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