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纳米压痕仪的前世今生
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https://mp.weixin.qq.com/s/BgO6WQHkia7pCNHLU40Z8A KLA纳米压痕技术的过去，现在，与未来。这是一条不断进取、持续突破的创新之路。 1983-Warren Oliver 博士和 John Pethica 博士成立Nano Instruments, Inc.，并发布世界上第一款商用纳米压痕仪——NanoIndenter®I，其核心技术：电磁力驱动，三片电容位移传感等久经考验。 1989-Warren Oliver博士和 John Pethica博士获得了连续刚度测量 (CSM) 技术的专利，该技术至今还是KLA的专有功能；发布NanoIndenter®II，首次配备连续刚度测量功能，至今CSM仍然是纳米压痕仪问世以来行业内引人瞩目的创新。 1991-首次推出了大载荷作动器，可施加高达 5000mN 的压痕载荷。 1992-Warren Oliver博士和George Pharr 博士发表《An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments》——纳米力学测量领域的里程碑式论文；首次推出了横向力测量选项，实现摩擦力和摩擦系数的测量。 1996-第三代纳米压痕仪Nano Indenter XP与XP Head作动器同步问世，XP head至今仍是业内主流的加载装置，现场使用二十几年后精度依然没有变化。 1997-推出第一代高精度加载装置(DCM)——进行超低载荷的力学测试。 1998-力学设备巨头MTS公司收了Nano Instruments。 1999-首次发布一款高温功能选项：100°C测试腔。 2001-首次推出可以直接测试12inch晶圆的测试系统——Nano Indenter XPW。 2002-首次发布纳米级精度的NanoUTM高精度拉伸系统，其典型应用是测量蜘蛛丝性能超细单根纤维的拉伸性能，也可以在高达400%的恒定应变率下量化测试聚合物微纤维的粘弹性特性,至今还在全世界范围内广泛使用。 2004-首次推出纳米级定位精度的扫描成像功能。 2006-第四代旗舰型纳米压痕平台NanoIndenter G200面世——符合ISO14577 标准的纳米力学测试仪，至今仍然是世界上单一型号装机量排名前列的纳米力学测试平台。 2008-安捷伦科技从 MTS公司收购纳米压痕仪团队，并推出原位纳米压痕测试和动态力学分析的新产品—InSEM I。 2009-Warren Oliver博士团队创立Nanomechanics, Inc. 既是安捷伦的OEM，又在继续纳米压痕技术的创新。 2011-创新推出原位高温纳米压痕仪InSEM HT，温度可达300°C。 2013-创新推出超快速压痕功能——Express Test，这是继CSM技术后又一项革命性的纳米压痕技术，并获得联合国教科文组织颁奖。 2014-推出新一代高性能原位纳米力学系统—— NanoFlip。 2014-是德科技从安捷伦公司中分拆，并将纳米压痕部门收入麾下。 2015-发布IF1000作动器，开创了在1000mN的状态下实现6nN分辨率的新技术；发布第二代超快速压痕技术—— NanoBlitz™ 3D 技术、Mapping范围更大，点数更多，精度更高，速度更快。 2016-发布NanoBlitz 4D技术，开创性地实现了样品力学性能的断层扫描；同期将InSEM HT 温度范围提升至 800°C，之后又提升至1100°C 2017-发布Gemini双轴压痕系统——能够以相同分辨率在双轴方向施力并测位移的作动器，并具备真正的纳米摩擦学和泊松比测量能力。 2018-KLA Corporation 收购了是德科技的纳米压痕团队和Nanomechanics公司，Warren Oliver博士继续在KLA专注于纳米压痕技术的创新。 2019-发布新一代NanoIndenter G200X——测试速度更快，精度更高，并实现了 DataBurst™ 冲击硬度测试，100kHz 的数据采集速率，可在超过 10^4/s 的应变速率下进行硬度测量。 |
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