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1986songqi

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 高密度 (相对密度大于99%)IGZO靶材的 理论密度是多少?

请问各位大侠,高密度 (相对密度大于99%)IGZO靶材的 理论密度是多少?
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1986songqi

铁杆木虫 (著名写手)

IGZO高密度靶材的理论密度是否与 成分有关?各位大侠是否可以提供几种不同配比的 IGZO高密度靶材的理论密度。谢谢!
2楼2012-12-01 14:02:33
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wajn2012

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖


cjzn2010: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-09 18:32:35
In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 mole ratio我们用的是这个配比
3楼2012-12-07 10:06:16
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1986songqi

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wajn2012 at 2012-12-07 10:06:16
In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 mole ratio我们用的是这个配比

请问下,你们是做粉还是做靶?这个比例的密度是多少啊??
4楼2012-12-07 22:02:50
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wu1008

金虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wajn2012 at 2012-12-07 10:06:16
In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 mole ratio我们用的是这个配比

In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 ?
你搞错了吧?你们的IGZO用来做什么的?
5楼2012-12-08 10:42:08
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fpheonixes

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1:1:1的mol rate的密度大概是6.27g/cm3
比例不一样,比重不一样的
6楼2013-10-30 17:37:45
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