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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 高密度 （相对密度大于99%）IGZO靶材的 理论密度是多少？
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1986songqi

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 高密度 （相对密度大于99%）IGZO靶材的 理论密度是多少？

请问各位大侠，高密度 （相对密度大于99%）IGZO靶材的 理论密度是多少？
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1楼 2012-12-01 13:57:55
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wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wajn2012 at 2012-12-07 10:06:16
In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 mole ratio我们用的是这个配比

In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 ？
你搞错了吧？你们的IGZO用来做什么的？
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5楼2012-12-08 10:42:08
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1986songqi

铁杆木虫 (著名写手)
IGZO高密度靶材的理论密度是否与 成分有关？各位大侠是否可以提供几种不同配比的 IGZO高密度靶材的理论密度。谢谢！
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2楼2012-12-01 14:02:33
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wajn2012

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
cjzn2010: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-09 18:32:35
In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 mole ratio我们用的是这个配比
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3楼2012-12-07 10:06:16
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1986songqi

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wajn2012 at 2012-12-07 10:06:16
In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1 mole ratio我们用的是这个配比

请问下，你们是做粉还是做靶？这个比例的密度是多少啊？？
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4楼2012-12-07 22:02:50
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