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探讨下靶材致密度对薄膜的影响
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gao198907
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探讨下靶材致密度对薄膜的影响
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于士辉
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xslin64
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2015-01-26 00:06:19
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jianjian1986
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只要是压得靶材是紧实的就可以了吧
。因为溅射的时候,还是会形成单个的离子的
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13楼
2015-02-09 22:05:29
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dmbb
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2015-01-25 21:57
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messengermu
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