| 查看: 1119 | 回复: 5 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
翻译一篇关于磁控溅射SiAl靶材方面的文献遇到的问题 已有2人参与
|
||
|
我不是很懂磁控溅射方面的知识，今天翻译一篇磁控溅射SiAl靶材方面的技术资料，下面这段中，有一些不是很懂，请高手赐教，帮忙翻译一下（尤其是 arc rate及plasma Ramping of power • Recommended step: 1 kW AC / m each minute • Maximum step: 3 kW AC / m each min • evaluate arc rate after each power increase • evaluate target and plasma visual at least every 15 minutes • if plasma is not stable or arc rate stays very high do not increase power but wait until plasma and arc rate stabilizes if plasma instability is very heavy or arcing is very heavy decrease power again |
回复此楼» 猜你喜欢
国内权威又专业的知名论坛有哪些？
已经有0人回复
-
有没有大佬推荐一下审稿快，稿费在1-2w之间的EI综合期刊，孩子急着毕业啊
已经有12人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有105人回复
-
建筑、汽车、家具涂料如何合规？2025年四大权威第三方检测机构对比
已经有0人回复
-
浮游生物图像分析仪的品牌推荐与三大应用场景
已经有0人回复
-
求助：单相电机在摄氏120度环境下间断工作
已经有1人回复
-
2026年顶空瓶推荐企业：品牌、供应商、质量哪家好？
已经有1人回复
-
英国伯明翰大学招收计算流体力学博士研究生
已经有0人回复
-
英国伯明翰大学招收计算流体力学和气动声学博士研究生
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 哪家公司卖的用于磁控溅射镀膜的MgO靶材比较好，希望有经验者推荐一下，
已经有12人回复
- 做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了
已经有9人回复
- 国内哪家做磁控溅射靶材做的最好？？
已经有37人回复
- 关于磁控溅射用的靶材方面的书籍
已经有22人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
- 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
已经有20人回复
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
已经有7人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 磁控溅射靶材bondig
已经有14人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择
已经有11人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
hrhhrh
木虫 (正式写手)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 2383.2
- 红花: 3
- 沙发: 1
- 帖子: 922
- 在线: 818.4小时
- 虫号: 3277872
- 注册: 2014-06-17
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2014-12-18 08:31:18
hwweven
至尊木虫 (知名作家)
医疗器械注册和审核
- 应助: 854 (博后)
- 贵宾: 1.482
- 金币: 26654.4
- 散金: 8259
- 红花: 192
- 沙发: 20
- 帖子: 8940
- 在线: 1616.8小时
- 虫号: 489804
- 注册: 2008-01-02
- 性别: GG
- 专业: 橡胶及弹性体
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hexinyu20: 金币+5, ★有帮助 2014-12-18 20:22:15
感谢参与，应助指数 +1
hexinyu20: 金币+5, ★有帮助 2014-12-18 20:22:15
|
功率阶梯式增长方式 推荐步幅：每分钟1kw AC/m 最大步幅：每分钟3kw AC/m 每次功率增加后评估放电比率 至少每15分钟评估一次靶材和等离子状态 如果等离子不稳定或者放电比率过高时： 不要再增加功率，一直等到等离子和放电稳定 如果等离子极度不稳定或放电过于严重，重新降低功率 没做过磁控溅射，但搞过等离子，plasma就是等离子体的意思，arc rate大概是放电比率，如果等离子体不稳定的话，会出现一道道电弧，arc既是电弧或放电的意思。 |
2楼2014-12-17 22:40:00
4楼2014-12-18 20:47:41
5楼2014-12-18 20:47:51