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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 铝为什么溅射成这样? 已有1人参与

打算用铝靶反应溅射镀氮化铝,铝靶溅射半小时后,出来成彩色。为什么?我以前也溅射过,靶中毒后表面会很光亮,这个怎么成彩色的了,是靶电流开大了吗?

铝为什么溅射成这样?
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wfd5449

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by liaofang20 at 2015-01-30 15:01:53
我的靶表面是个很大旋涡,从中间一直延伸到靶边缘。...

我们的靶尺寸大概是15cm x 40cm 吧,挺大的。
Yesterdayishistory.Tomorrowisamystery.Andtoday?Todayisagift.That'swhywecallitthepresent.
8楼2015-01-30 21:06:12
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wfd5449

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 有帮助 2014-11-28 11:01:21
你这是做过摩擦磨损的试样吗?氮气偏压多少?
Yesterdayishistory.Tomorrowisamystery.Andtoday?Todayisagift.That'swhywecallitthepresent.
3楼2014-11-28 09:23:12
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wfd5449 at 2014-11-28 09:23:12
你这是做过摩擦磨损的试样吗?氮气偏压多少?

这个是靶材。Ar:N2=1:1
4楼2014-11-28 11:01:12
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wfd5449

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+5 2015-01-30 14:59:43
铝靶表面被溅射成这样真是少见。
个人感觉是不是氮气分压略有不妥,或者说是偏大,导致靶材表面中毒,并且氩气离化不够,生成的氮化物直接堆积在表面。
为什么形貌是个圆环这个真想不懂,没见过这种情况。
Yesterdayishistory.Tomorrowisamystery.Andtoday?Todayisagift.That'swhywecallitthepresent.
5楼2015-01-23 11:50:32
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