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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 铝为什么溅射成这样？ 已有1人参与

打算用铝靶反应溅射镀氮化铝，铝靶溅射半小时后，出来成彩色。为什么？我以前也溅射过，靶中毒后表面会很光亮，这个怎么成彩色的了，是靶电流开大了吗？

铝为什么溅射成这样？
IMG_0217.JPG
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1楼 2014-11-13 16:53:50
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liaofang20

银虫 (小有名气)
2楼2014-11-18 15:40:40
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wfd5449

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, ★有帮助 2014-11-28 11:01:21
你这是做过摩擦磨损的试样吗？氮气偏压多少？
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3楼2014-11-28 09:23:12
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wfd5449 at 2014-11-28 09:23:12
你这是做过摩擦磨损的试样吗？氮气偏压多少？

这个是靶材。Ar:N2=1:1
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4楼2014-11-28 11:01:12
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wfd5449

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+5 2015-01-30 14:59:43
铝靶表面被溅射成这样真是少见。
个人感觉是不是氮气分压略有不妥，或者说是偏大，导致靶材表面中毒，并且氩气离化不够，生成的氮化物直接堆积在表面。
为什么形貌是个圆环这个真想不懂，没见过这种情况。
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5楼2015-01-23 11:50:32
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wfd5449

新虫 (初入文坛)
最近观察了我们的铝靶，只是在矩形的四个角位置有一点这种旋状条文，估计是电子拜托磁场束缚造成的，分布在弱磁场区域。
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6楼2015-01-29 17:30:56
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wfd5449 at 2015-01-29 17:30:56
最近观察了我们的铝靶，只是在矩形的四个角位置有一点这种旋状条文，估计是电子拜托磁场束缚造成的，分布在弱磁场区域。

我的靶表面是个很大旋涡，从中间一直延伸到靶边缘。
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7楼2015-01-30 15:01:53
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wfd5449

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by liaofang20 at 2015-01-30 15:01:53
我的靶表面是个很大旋涡，从中间一直延伸到靶边缘。...

我们的靶尺寸大概是15cm x 40cm 吧，挺大的。
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8楼2015-01-30 21:06:12
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wfd5449 at 2015-01-30 21:06:12
我们的靶尺寸大概是15cm x 40cm 吧，挺大的。...

我们的是6cm*6cm的
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9楼2015-02-02 08:49:13
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