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马亚辉

木虫 (小有名气)

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专业: 无机材料化学

[求助] 磁控溅射靶材貌似被氧化已有1人参与

我用100W射频溅射MO，最近发现靶材中心出现紫色光晕，是被氧化了吗？怎么处理？

磁控溅射靶材貌似被氧化

IMG_20141109_104547.jpg

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1楼 2014-11-09 11:56:53

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perry_ping

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【答案】应助回帖

下次用之前预溅射一会，就可以把表面的氧化层先打掉，靶材长时间不用，就会有这种现象

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

2楼2015-01-14 15:10:25

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