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马亚辉

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材貌似被氧化 已有1人参与

我用100W射频溅射MO,最近发现靶材中心出现紫色光晕,是被氧化了吗?怎么处理?

磁控溅射靶材貌似被氧化
IMG_20141109_104547.jpg
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perry_ping

新虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

下次用之前预溅射一会,就可以把表面的氧化层先打掉,靶材长时间不用,就会有这种现象

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2015-01-14 15:10:25
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