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coobi铁杆木虫 (正式写手)
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[求助]
硅片表面钝化 已有1人参与
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请问，我现在想在硅片表面钝化一层很薄的SiO2层，大概10 nm或者更薄，该如何处理呢？ 不知道这里有没有处理过该问题的师兄师姐，先谢谢啦。 PS：我查，说在HF里处理后热处理，1000度1.5小时，这样的画SiO2层应该很厚才是，主要是需要很薄的一层，要怎样做呢。 |
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cord 
铁杆木虫 (著名写手)
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2楼2014-09-29 19:58:43