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月夜1546

金虫 (小有名气)

[求助] 常用硅表面疏水性处理

常用硅表面疏水性处理,谢谢指导
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starvyes

木虫 (正式写手)

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★ ★
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月夜1546: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-10-12 12:01:04
表面修饰一下,镀一层疏水膜。
Quartierdesfleurs,àFacerésiduellerire,rirelesgensducommun.
2楼2012-10-10 10:19:21
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月夜1546

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by starvyes at 2012-10-10 10:19:21
表面修饰一下,镀一层疏水膜。

能说具体一点吗?试剂方面
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3楼2012-10-10 11:17:32
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rmb19881231

金虫 (小有名气)

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月夜1546: 金币+1 2012-10-12 12:01:11
硅片表面氧化一下,长链的烷烃修饰镀层膜
4楼2012-10-10 11:27:27
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dzcl11

铜虫 (小有名气)


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★ ★ ★
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月夜1546: 金币+3, ★★★很有帮助 2012-10-12 12:01:21
常用硅片亲水处理液有H2SO 4/H2O 2、NH4OH/H 2O 2 以及HNO3/H2O、HF/H2O 等溶液。NH4OH/H 2O 2 处理过的硅片的接触角为
最小, 从而对硅片表面亲水性处理最好, 处理后表面终端的OH 也应最多。
5楼2012-10-10 12:50:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


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★ ★
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月夜1546: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-10-12 12:01:29
可以镀一层疏水薄膜,比如teflon。用ICP等离子体刻蚀机,bosch工艺中钝化的那一步,会形成纳米级的类似teflon的薄层。
6楼2012-10-10 15:45:42
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

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月夜1546: 金币+1, 有帮助 2012-10-12 12:01:35
硅表面本来就是疏水的,只是表面有自然氧化层。用HF把氧化层腐蚀掉就可以了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
奋斗。。。
7楼2012-10-10 16:18:57
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晚香玉

木虫 (正式写手)

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月夜1546: 金币+1, 有帮助 2012-10-12 12:01:43
直接烷基化反应就行了,
8楼2012-10-10 22:36:41
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XIEFUANFUAN

银虫 (小有名气)

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用piraha溶液处理之后就好了!网上有很多相关的信息!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
更好的
9楼2012-10-10 23:19:30
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月夜1546

金虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by XIEFUANFUAN at 2012-10-10 23:19:30
用piraha溶液处理之后就好了!网上有很多相关的信息!

10楼2012-10-14 09:55:18
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