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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 常用硅表面疏水性处理
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月夜1546

金虫 (小有名气)

[求助] 常用硅表面疏水性处理

常用硅表面疏水性处理，谢谢指导
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1楼 2012-10-10 10:06:41
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starvyes

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月夜1546: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-10-12 12:01:04
表面修饰一下，镀一层疏水膜。
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Quartierdesfleurs,àFacerésiduellerire,rirelesgensducommun.
2楼2012-10-10 10:19:21
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月夜1546

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by starvyes at 2012-10-10 10:19:21
表面修饰一下，镀一层疏水膜。

能说具体一点吗？试剂方面
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3楼2012-10-10 11:17:32
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rmb19881231

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
月夜1546: 金币+1 2012-10-12 12:01:11
硅片表面氧化一下，长链的烷烃修饰镀层膜
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4楼2012-10-10 11:27:27
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dzcl11

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月夜1546: 金币+3, ★★★很有帮助 2012-10-12 12:01:21
常用硅片亲水处理液有H2SO 4/H2O 2、NH4OH/H 2O 2 以及HNO3/H2O、HF/H2O 等溶液。NH4OH/H 2O 2 处理过的硅片的接触角为
最小, 从而对硅片表面亲水性处理最好, 处理后表面终端的OH 也应最多。
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5楼2012-10-10 12:50:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月夜1546: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-10-12 12:01:29
可以镀一层疏水薄膜，比如teflon。用ICP等离子体刻蚀机，bosch工艺中钝化的那一步，会形成纳米级的类似teflon的薄层。
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6楼2012-10-10 15:45:42
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
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月夜1546: 金币+1, ★有帮助 2012-10-12 12:01:35
硅表面本来就是疏水的，只是表面有自然氧化层。用HF把氧化层腐蚀掉就可以了

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奋斗。。。
7楼2012-10-10 16:18:57
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晚香玉

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
月夜1546: 金币+1, ★有帮助 2012-10-12 12:01:43
直接烷基化反应就行了，
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8楼2012-10-10 22:36:41
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XIEFUANFUAN

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用piraha溶液处理之后就好了！网上有很多相关的信息！

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更好的
9楼2012-10-10 23:19:30
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月夜1546

金虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by XIEFUANFUAN at 2012-10-10 23:19:30
用piraha溶液处理之后就好了！网上有很多相关的信息！

10楼2012-10-14 09:55:18
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