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铁杆木虫 (正式写手)

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[求助] 硅片表面钝化已有1人参与

请问，我现在想在硅片表面钝化一层很薄的SiO2层，大概10 nm或者更薄，该如何处理呢？
不知道这里有没有处理过该问题的师兄师姐，先谢谢啦。

PS：我查，说在HF里处理后热处理，1000度1.5小时，这样的画SiO2层应该很厚才是，主要是需要很薄的一层，要怎样做呢。

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1楼 2014-09-29 16:04:36

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cord

铁杆木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★ ★
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coobi: 金币+2, 我们暂时没有这样的条件啊 2014-09-30 14:57:23

用PECVD长一层SIO2好了, 多厚都可以控制.

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