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coobi

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 硅片表面钝化 已有1人参与

请问,我现在想在硅片表面钝化一层很薄的SiO2层,大概10 nm或者更薄,该如何处理呢?
    不知道这里有没有处理过该问题的师兄师姐,先谢谢啦。

  PS:我查,说在HF里处理后热处理,1000度1.5小时,这样的画SiO2层应该很厚才是,主要是需要很薄的一层,要怎样做呢。
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
coobi: 金币+2, 我们暂时没有这样的条件啊 2014-09-30 14:57:23
用PECVD长一层SIO2好了, 多厚都可以控制.
2楼2014-09-29 19:58:43
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