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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 微米级硅片测量
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)

[求助] 微米级硅片测量 已有2人参与

请问一下厚度10微米左右的硅片可以用什么仪器来测量，仪器最好简单易操作。
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1楼 2014-07-16 10:36:32
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pengyingjing

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
焦天鹏: 金币+2, 谢谢 但是不太行 2014-07-19 19:13:52
游标卡尺游标卡尺
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2楼2014-07-16 11:39:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
焦天鹏: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-07-19 19:14:31
半透明了，可以用光学型的膜厚仪来测，也可以用椭偏。
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3楼2014-07-17 11:44:47
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