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ledlau木虫 (著名写手)
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单晶硅片表面粗糙度一般是多少？
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大家好， 本人对硅片一些参数不太了解，现在做实验需要知道硅片的粗糙度参数。 想请问一下大家：一般单抛或者未抛硅片来说，未抛光侧的表面粗糙度大概是多少呢？ （有朋友了解或者亲自测试过的麻烦告知一声，万分感谢！！） （抛光一侧的一般都有标示出来，＜0.5nm）   |
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2楼2013-04-03 18:50:12
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【答案】应助回帖
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国产硅片，抛光面的Ra是不会小于0.4nm的，没这个水平，只有极少数实验室，有专门的抛光机，可以抛到这个水平，现成买来的国产硅片肯定到不了这个水平，1nm的水平吧。 粗面，也就是未抛光面，差别很大。有的粗面，比磨砂还粗，有的只是亚光。亚光的面，估计在1um左右，磨砂的要稍微再粗一些。硅片所谓的粗面，就是减薄后的面，没有做抛光的，1～10um是一个很正常的值。 如果是像你说的粗糙度10nm，很多光学部件也就这水平了，相当的镜面了，你机械背景如果这都不知道………… 不信咱们可以赌，你出片子，我给你测AFM，如果指标落到我说的范围里，就当给你免费做，否则你就把测试费出了。  |
6楼2013-04-17 19:45:24
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