应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 单晶硅片表面粗糙度一般是多少？
51/1返回列表
查看: 5779  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

ledlau

木虫 (著名写手)

[求助] 单晶硅片表面粗糙度一般是多少？

大家好，
   本人对硅片一些参数不太了解，现在做实验需要知道硅片的粗糙度参数。
想请问一下大家：一般单抛或者未抛硅片来说，未抛光侧的表面粗糙度大概是多少呢？
（有朋友了解或者亲自测试过的麻烦告知一声，万分感谢！！）
（抛光一侧的一般都有标示出来，＜0.5nm）
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
辛勤耕耘，收获知识，收获美好人生
1楼 2013-04-03 10:25:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by ledlau at 2013-04-17 23:20:14
好吧。。
我还是先预约AFM测试一下吧。。。...

我明天安排个人测一下吧
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2013-04-18 01:41:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ledlau: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢大哥的应助！ 2013-04-17 15:10:08
如果是国产硅片，抛光面的次凹面粗糙度绝大部分是达不到Ra<0.5nm的，能<1nm就不错了。
未抛光一侧很难说，有些做过背封，有些没有，有些粗一些，有些细一些。不同厂家的片子差别很大。不过一般都是在10um以下的水平。

既然是做实验要用，自己用AFM拉一下吧。片子的种类和厂家太多，有实际数据才是最好的。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-04-03 18:50:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ledlau

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-03 18:50:12
如果是国产硅片，抛光面的次凹面粗糙度绝大部分是达不到Ra<0.5nm的，能<1nm就不错了。
未抛光一侧很难说，有些做过背封，有些没有，有些粗一些，有些细一些。不同厂家的片子差别很大。不过一般都是在10um以下 ...

谢谢你的回帖

第二行中的10um以下是不是笔误啊？ 是10nm吗？
AFM要钱啊，，
赞一下 回复此楼
辛勤耕耘，收获知识，收获美好人生
3楼2013-04-17 09:19:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by ledlau at 2013-04-17 09:19:17
谢谢你的回帖

第二行中的10um以下是不是笔误啊？ 是10nm吗？
AFM要钱啊，，...

非抛光的面很粗的，10nm是不可能的。一般来说，镜面是0.4um就算是镜面了，硅片背面是接近镜面但不是镜面的状态，一般来说是大于1um的粗糙度，但是绝不会超过10um的。
赞一下 回复此楼
4楼2013-04-17 11:51:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭