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ledlau木虫 (著名写手)
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单晶硅片表面粗糙度一般是多少？
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大家好， 本人对硅片一些参数不太了解，现在做实验需要知道硅片的粗糙度参数。 想请问一下大家：一般单抛或者未抛硅片来说，未抛光侧的表面粗糙度大概是多少呢？ （有朋友了解或者亲自测试过的麻烦告知一声，万分感谢！！） （抛光一侧的一般都有标示出来，＜0.5nm）   |
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ledlau
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