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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 单晶硅片表面粗糙度一般是多少？
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ledlau

木虫 (著名写手)

[求助] 单晶硅片表面粗糙度一般是多少？

大家好，
   本人对硅片一些参数不太了解，现在做实验需要知道硅片的粗糙度参数。
想请问一下大家：一般单抛或者未抛硅片来说，未抛光侧的表面粗糙度大概是多少呢？
（有朋友了解或者亲自测试过的麻烦告知一声，万分感谢！！）
（抛光一侧的一般都有标示出来，＜0.5nm）
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1楼2013-04-03 10:25:57
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ledlau: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢大哥的应助！ 2013-04-17 15:10:08
如果是国产硅片，抛光面的次凹面粗糙度绝大部分是达不到Ra<0.5nm的，能<1nm就不错了。
未抛光一侧很难说，有些做过背封，有些没有，有些粗一些，有些细一些。不同厂家的片子差别很大。不过一般都是在10um以下的水平。

既然是做实验要用，自己用AFM拉一下吧。片子的种类和厂家太多，有实际数据才是最好的。
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2楼2013-04-03 18:50:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by ledlau at 2013-04-17 14:53:14

你肯定记错了吧
我是机械背景的，普通机加工精铣都可以达到Ra＜3.2um的表面粗糙度，更不用说经过磨削之后的表面了

据我查看小木虫其它帖子，硅片抛光面如果是你说的0.4nm以下倒是比较可信的；粗面(未抛光侧 ...

国产硅片，抛光面的Ra是不会小于0.4nm的，没这个水平，只有极少数实验室，有专门的抛光机，可以抛到这个水平，现成买来的国产硅片肯定到不了这个水平，1nm的水平吧。
粗面，也就是未抛光面，差别很大。有的粗面，比磨砂还粗，有的只是亚光。亚光的面，估计在1um左右，磨砂的要稍微再粗一些。硅片所谓的粗面，就是减薄后的面，没有做抛光的，1～10um是一个很正常的值。
如果是像你说的粗糙度10nm，很多光学部件也就这水平了，相当的镜面了，你机械背景如果这都不知道…………
不信咱们可以赌，你出片子，我给你测AFM，如果指标落到我说的范围里，就当给你免费做，否则你就把测试费出了。
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6楼2013-04-17 19:45:24
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by ledlau at 2013-04-17 23:20:14
好吧。。
我还是先预约AFM测试一下吧。。。...

我明天安排个人测一下吧
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8楼2013-04-18 01:41:57
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普通回帖

ledlau

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-03 18:50:12
如果是国产硅片，抛光面的次凹面粗糙度绝大部分是达不到Ra<0.5nm的，能<1nm就不错了。
未抛光一侧很难说，有些做过背封，有些没有，有些粗一些，有些细一些。不同厂家的片子差别很大。不过一般都是在10um以下 ...

谢谢你的回帖

第二行中的10um以下是不是笔误啊？ 是10nm吗？
AFM要钱啊，，
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3楼2013-04-17 09:19:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by ledlau at 2013-04-17 09:19:17
谢谢你的回帖

第二行中的10um以下是不是笔误啊？ 是10nm吗？
AFM要钱啊，，...

非抛光的面很粗的，10nm是不可能的。一般来说，镜面是0.4um就算是镜面了，硅片背面是接近镜面但不是镜面的状态，一般来说是大于1um的粗糙度，但是绝不会超过10um的。
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4楼2013-04-17 11:51:57
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ledlau

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-17 11:51:57
非抛光的面很粗的，10nm是不可能的。一般来说，镜面是0.4um就算是镜面了，硅片背面是接近镜面但不是镜面的状态，一般来说是大于1um的粗糙度，但是绝不会超过10um的。...


你肯定记错了吧
我是机械背景的，普通机加工精铣都可以达到Ra＜3.2um的表面粗糙度，更不用说经过磨削之后的表面了

据我查看小木虫其它帖子，硅片抛光面如果是你说的0.4nm以下倒是比较可信的；粗面(未抛光侧)10nm左右也还有一定可能性。
但绝对绝对不会到um量级的
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5楼2013-04-17 14:53:14
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ledlau

木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-17 19:45:24
国产硅片，抛光面的Ra是不会小于0.4nm的，没这个水平，只有极少数实验室，有专门的抛光机，可以抛到这个水平，现成买来的国产硅片肯定到不了这个水平，1nm的水平吧。
粗面，也就是未抛光面，差别很大。有的粗面， ...

好吧。。
我还是先预约AFM测试一下吧。。。
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辛勤耕耘，收获知识，收获美好人生
7楼2013-04-17 23:20:14
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酒肉和尚

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-17 19:45:24
国产硅片，抛光面的Ra是不会小于0.4nm的，没这个水平，只有极少数实验室，有专门的抛光机，可以抛到这个水平，现成买来的国产硅片肯定到不了这个水平，1nm的水平吧。
粗面，也就是未抛光面，差别很大。有的粗面， ...

赞一个，背面只是亚光面，1个u以上很正常
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一入博门深似海
9楼2015-12-11 16:25:12
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zjlenny

木虫 (小有名气)
现在国内也有做得好的，RMS在0.05nm左右的，4寸的。详细的参数可以联系我
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10楼2015-12-11 20:56:15
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