【请教】做完SEM的硅片如何清洗 - 微米和纳米 - 综合其他 - 小木虫论坛-学术科研互动平台

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匿名

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1楼2010-07-13 08:40:19

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jlusf

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这个应该是做完实验就废了吧，还要二次利用？

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天道酬勤

2楼2010-07-13 09:16:35

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blacklight

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mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-07-13 09:49:25

通常来说，SEM的片子用乙醇简单超声后就可以直接用于测试。
如果表面有些很难洗掉的油脂或者重复利用的话，可以在氯仿、乙醇、去离子水中依次各超声15分钟即可。

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3楼2010-07-13 09:17:27

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匿名

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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-11-04 23:44:12

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4楼2010-07-14 08:26:57

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ftfxiaoyu

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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-11-04 23:44:19

Si 的导电性不好，在做SEM的时候表面一般要镀金，金需要碘+碘化钾的溶液去除

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5楼2010-07-14 08:55:59

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ftfxiaoyu

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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-11-04 23:44:25

如果是有机物，那边用有机清洗的方法洗

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6楼2010-07-14 08:56:42

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匿名

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7楼2010-07-15 09:28:21

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lfj1211

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引用回帖:

Originally posted by xuyuanguo at 2010-07-13 08:40:19:
做完SEM的硅片上面有残留物，可是拿酒精超声就是洗不干净，怎么办？

先用小刀刮，再用王水浸泡几个小时，然后分别用氯仿，无水乙醇和蒸馏水超声洗涤，各超声半个小时。

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8楼2010-11-03 15:49:32

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sakuraai

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9楼2010-11-03 19:50:08

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hanxiao242

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引用回帖:

Originally posted by jlusf at 2010-07-13 09:16:35:
这个应该是做完实验就废了吧，还要二次利用？

我们都重复利用的呢。实在洗不干净就扔掉了

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10楼2010-11-03 20:53:33

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