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【请教】做完SEM的硅片如何清洗
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2010-07-13 08:40:19
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这个应该是做完实验就废了吧,还要二次利用?
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2010-07-13 09:16:35
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mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-07-13 09:49:25
通常来说,SEM的片子用乙醇简单超声后就可以直接用于测试。
如果表面有些很难洗掉的油脂或者重复利用的话,可以在氯仿、乙醇、去离子水中依次各超声15分钟即可。
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2010-07-13 09:17:27
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2010-07-14 08:26:57
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Si 的导电性不好,在做SEM的时候表面一般要镀金,金需要碘+碘化钾的溶液去除
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5楼
2010-07-14 08:55:59
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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-11-04 23:44:25
如果是有机物,那边用有机清洗的方法洗
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2010-07-14 08:56:42
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2010-07-15 09:28:21
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Originally posted by
xuyuanguo
at 2010-07-13 08:40:19:
做完SEM的硅片上面有残留物,可是拿酒精超声就是洗不干净,怎么办?
先用小刀刮,再用王水浸泡几个小时,然后分别用氯仿,无水乙醇和蒸馏水超声洗涤,各超声半个小时。
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2010-11-03 15:49:32
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Originally posted by
jlusf
at 2010-07-13 09:16:35:
这个应该是做完实验就废了吧,还要二次利用?
我们都重复利用的呢。实在洗不干净就扔掉了
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2010-11-03 20:53:33
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