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汕头大学海洋科学接受调剂
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pq33714

金虫 (正式写手)

[求助] 多晶硅湿法刻蚀 已有1人参与

求多晶硅湿法刻蚀的工艺,溶液配比,实验条件。谢谢
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
pq33714: 金币+10, 谢谢 2014-07-04 11:30:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by pq33714 at 2014-07-04 00:55:59
谷歌上配比比较多样化,我现在想找个稍好的工艺,刻蚀出基本的效果,请问您有没有做过这方面的实验,能否分享一下,谢谢!
...

我找的一些文献,自己试过硅片上的HF、HNO3、乙酸刻蚀,效果还可以,就是速度不太好控制,你可以自己调一下。

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  • 附件 1 : 硅背面腐蚀.rar
  • 2014-07-04 09:38:08, 9.51 M
4楼2014-07-04 09:40:31
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
很多啊,google上搜一下就可以,需要的话可以给你资料

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-07-03 21:29:35
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pq33714

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2014-07-03 21:29:35
很多啊,google上搜一下就可以,需要的话可以给你资料

谷歌上配比比较多样化,我现在想找个稍好的工艺,刻蚀出基本的效果,请问您有没有做过这方面的实验,能否分享一下,谢谢!

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-07-04 00:55:59
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