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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 多晶硅湿法刻蚀
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pq33714

金虫 (正式写手)

[求助] 多晶硅湿法刻蚀 已有1人参与

求多晶硅湿法刻蚀的工艺，溶液配比，实验条件。谢谢
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1楼 2014-07-03 17:20:29
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
很多啊，google上搜一下就可以，需要的话可以给你资料

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2楼2014-07-03 21:29:35
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pq33714

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2014-07-03 21:29:35
很多啊，google上搜一下就可以，需要的话可以给你资料

谷歌上配比比较多样化，我现在想找个稍好的工艺，刻蚀出基本的效果，请问您有没有做过这方面的实验，能否分享一下，谢谢！

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3楼2014-07-04 00:55:59
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
pq33714: 金币+10, 谢谢 2014-07-04 11:30:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by pq33714 at 2014-07-04 00:55:59
谷歌上配比比较多样化，我现在想找个稍好的工艺，刻蚀出基本的效果，请问您有没有做过这方面的实验，能否分享一下，谢谢！
...

我找的一些文献，自己试过硅片上的HF、HNO3、乙酸刻蚀，效果还可以，就是速度不太好控制，你可以自己调一下。
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  • 附件 1 : 硅背面腐蚀.rar
    • 2014-07-04 09:38:08, 9.51 M
4楼2014-07-04 09:40:31
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