24小时热门版块排行榜    

查看: 734  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

pq33714

金虫 (正式写手)

[求助] 多晶硅湿法刻蚀 已有1人参与

求多晶硅湿法刻蚀的工艺,溶液配比,实验条件。谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pq33714

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2014-07-03 21:29:35
很多啊,google上搜一下就可以,需要的话可以给你资料

谷歌上配比比较多样化,我现在想找个稍好的工艺,刻蚀出基本的效果,请问您有没有做过这方面的实验,能否分享一下,谢谢!

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-07-04 00:55:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
很多啊,google上搜一下就可以,需要的话可以给你资料

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-07-03 21:29:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
pq33714: 金币+10, 谢谢 2014-07-04 11:30:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by pq33714 at 2014-07-04 00:55:59
谷歌上配比比较多样化,我现在想找个稍好的工艺,刻蚀出基本的效果,请问您有没有做过这方面的实验,能否分享一下,谢谢!
...

我找的一些文献,自己试过硅片上的HF、HNO3、乙酸刻蚀,效果还可以,就是速度不太好控制,你可以自己调一下。

» 本帖附件资源列表

  • 欢迎监督和反馈:小木虫仅提供交流平台,不对该内容负责。
    本内容由用户自主发布,如果其内容涉及到知识产权问题,其责任在于用户本人,如对版权有异议,请联系邮箱:xiaomuchong@tal.com
  • 附件 1 : 硅背面腐蚀.rar
  • 2014-07-04 09:38:08, 9.51 M
4楼2014-07-04 09:40:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 为什么到现在没收到通知? +4 tannykie 2026-08-29 4/200 2026-08-29 17:14 by lmz0216
[博后之家] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 6/300 2026-08-29 16:31 by 时光旅行者
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +5 德尚中行 2026-08-27 5/250 2026-08-29 16:16 by manplx
[教师之家] 导师吐槽:我怎么摊上了这么个极品研究生! +9 苏东坡二世 2026-08-23 9/450 2026-08-29 14:41 by hustersqt
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见(F口面上) +5 gdd2018 2026-08-28 10/500 2026-08-29 14:10 by Jacob678
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 4/200 2026-08-29 14:02 by jCd0dEvKHShX
[基金申请] 国自然评审意见 +13 wangmingqi 2026-08-28 19/950 2026-08-29 10:22 by Poppy1104
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高,自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 系统查不到 +11 董八千 2026-08-26 11/550 2026-08-28 18:06 by Leogzhya
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[基金申请] 看板上这么多中的,有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[文学芳草园] 梦想 +3 myrtle 2026-08-26 3/150 2026-08-27 10:01 by angelyueyi
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 项目信息和经费信息在系统里都可以看到了 +6 wittyboy 2026-08-26 14/700 2026-08-26 10:55 by wittyboy
[基金申请] 国合现在查不到了吗? +10 chengyan1220 2026-08-24 20/1000 2026-08-26 08:57 by peasantsprig
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
信息提示
请填处理意见