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膜拜科研

新虫 (小有名气)

[求助] clock rolling--Al 溅射靶材 已有1人参与

急急急!!!clock rolling中文什么意思,麻烦给点关于clock rolling的英文文献,谢谢!!(本人做溅射靶材,材料Al,要用到clock rolling 方面的知识)
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nzhth

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-04-23 18:25:59
膜拜科研: 金币+2, 有帮助, 非常感谢您的回复,不过我说的这个是初始制作溅射靶材的材料,不是溅射的过程 2014-04-24 11:19:35
按意思,是溅射完一段,再转出一段溅射,如此延续。
类似于滚筒溅射,滚筒的是连续或来回滚,clock rolling是一段一段滚。
2楼2014-04-23 16:13:24
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