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迫不得已

银虫 (小有名气)

应助: 8 (幼儿园)
金币: 467.9
散金: 83
红花: 1
帖子: 298
在线: 80.1小时
虫号: 3035772
注册: 2014-03-10
性别: GG
专业: 安全科学与工程

[求助] 镀膜技术-磁控溅射辉光清洗已有2人参与

谁知道磁控溅射镀膜前辉光清洗的各个工艺参数？偏压、电流以及工作气压。

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真空镀膜类技术资料

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我就是我，颜色不一样的烟火

1楼2014-03-22 20:47:15

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

浅蓝色背影

金虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
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帖子: 109
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性别: GG
专业: 等离子体物理

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

反清洗就行！你这估计是清洗反应腔体吧！

坚持就是胜利

4楼2014-03-25 09:08:43

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