| 查看: 2314 | 回复: 11 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
磁控溅射氧化铝和氧化锌 已有2人参与
|
||
|
我刚刚接触磁控溅射，做了氧化物TFT器件，，氧化铝做绝缘层，氧化锌为有源层，制备完之后，发现器件很容易被击穿，没有一点场效应，电流还有随着电压增大下降的趋势，猜想可能是氧化铝太薄，但是加大膜厚后，依然如此，而且感觉有源层溅射的也不均匀，溅射设备是三个靶，头碰头，基片可以旋转，没有充氧，也没有使用退火，我想问一下有没有遇到过这种情况的？应该怎么解决？谢谢！ [ Last edited by sddtc888 on 2014-3-17 at 10:54 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
[武汉纺织大学]材料学院[姜伟团队名称]课题组-2026年硕士研究生调剂信息
已经有0人回复
-
中国科学院·过程工程研究所·招聘海内外高层次人才---过程所“百人计划”
已经有1人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有182人回复
-
中国科学院·过程工程研究所·招聘海内外高层次人才---过程所“百人计划”
已经有5人回复
-
2026考博自荐
已经有4人回复
-
温敏水凝胶收缩
已经有0人回复
-
PDMS膜在溶液中的离子透过率
已经有0人回复
-
攒人品 论文祈福
已经有139人回复
-
science advances的AAAS系统上返修
已经有0人回复
-
science advances的AAAS系统上返修问题
已经有2人回复
-
LDPE黑十字为什么那么大
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复
- 请教大家一个问题 关于ZnO掺Al的 希望搞这方面的朋友能看下帖子 交流一下 谢谢大家
已经有14人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 直流溅射Al膜总是被氧化
已经有10人回复
- 氧化锌纳米棒的制备
已经有21人回复
- 新手求助各位大师关于磁控溅射NiMn靶的问题
已经有5人回复
- zn如何变成zno
已经有12人回复
- 氧化铝----陶瓷和单晶---磁控溅射
已经有14人回复
- 从氧化铝和氧化锌混合物中提取锌
已经有7人回复
- 掺铝氧化锌（AZO）中的铝是指什么？氧化铝还是单质铝
已经有20人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】S掺杂氧化锌
已经有14人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【讨论】氧化锌薄膜的导电问题
已经有9人回复
yajing.0816
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 18 (小学生)
- 金币: 8282.5
- 红花: 2
- 帖子: 207
- 在线: 483.1小时
- 虫号: 1385406
- 注册: 2011-08-31
- 性别: MM
- 专业: 电化学分析
10楼2014-03-21 09:58:07
2楼2014-03-15 20:54:14
3楼2014-03-17 09:17:02
尘隐土
木虫 (正式写手)
贫困区
- 应助: 19 (小学生)
- 金币: 2954.5
- 红花: 11
- 帖子: 632
- 在线: 332.3小时
- 虫号: 2810346
- 注册: 2013-11-18
- 专业: 光子与光电子器件
小珠珠alone4楼2014-03-17 22:33:32
10