应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 【讨论】氧化锌薄膜的导电问题
101/1返回列表
查看: 3472  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

shi_shi_we

新虫 (初入文坛)

[交流] 【讨论】氧化锌薄膜的导电问题 已有9人参与

采用射频磁控溅射做的氧化锌薄膜，陶瓷靶，功率50，室温沉积的Zno膜，没有通氧。薄膜不导电。退火到800度都不导电。但文献都说氧化锌是可以导电的。不知原因在哪里。有没有做过氧化锌导电膜的牛人指点一下，谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-10-06 15:33:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stardom427

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
enquan123(金币+1):鼓励交流！！！ 2010-10-07 23:56:59
纯氧化锌不导电的吧？
只有掺杂后导电吧，，，比如掺铝  AZO

纯氧化锌具有束缚电子的功能，，，好像在哪见过这样的说法，，，词不达意啦
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-10-07 12:23:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhuzhen

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
enquan123(金币+1):鼓励交流！！！ 2010-10-07 23:57:04
纯ZnO是不导电，但制备的薄膜一般都含有缺陷，溅射的ZnO含有大量氧空位，一般情况下是n型导电的。是不是没长上抑或太薄了，电阻超过你测的量程了。加大功率或通氧多试几次条件
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2010-10-07 13:45:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shi_shi_we

新虫 (初入文坛)
★
csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-10-09 08:13:11
我自己 认为可能与衬底温度有关，不过还没有验证。常温下溅射结晶不太好，是不是这个原因。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-10-08 16:42:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

poxllo2010

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
氧化锌是一种透明氧化物半导体，既然是半导体，那么纯的氧化锌是不能导电的
赞一下(1人) 回复此楼
changeisopportunity!
5楼2010-10-14 09:58:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reggiehu

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
864870楼: Originally posted by shi_shi_we at 2010-10-06 15:33:10
采用射频磁控溅射做的氧化锌薄膜，陶瓷靶，功率50，室温沉积的Zno膜，没有通氧。薄膜不导电。退火到800度都不导电。但文献都说氧化锌是可以导电的。不知原因在哪里。有没有做过氧化锌导电膜的牛人指点一下，谢谢！

楼主你好，我现在也面临跟你一样的问题，做出来的膜不导电，用的也是陶瓷靶射频溅射，基片没法加热，请问楼主你的问题后来怎么解决的呢？谢谢
赞一下 回复此楼
6楼2012-05-31 10:05:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

北极苹果熊

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
陶瓷靶材上如果有2%的Al就一定导电了
赞一下 回复此楼
7楼2014-05-26 09:54:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

登顶食物链

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
看文献里说的貌似纯ZnO薄膜的电阻率都很高，但2wt%的AZO能到10e-4级。
赞一下 回复此楼
8楼2014-05-28 11:08:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fansonic

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by shi_shi_we at 2010-10-08 16:42:55
我自己 认为可能与衬底温度有关，不过还没有验证。常温下溅射结晶不太好，是不是这个原因。

和衬底温度应该是没有关系的。应该是给氧不足，还有可能annealing这块也没做好。
赞一下 回复此楼
9楼2014-10-27 14:31:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
太薄？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
10楼2019-11-11 19:05:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 shi_shi_we 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 27博士申请 +3 白白白ly 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:39 by szq0819
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:05 by FChKX8meu1ds
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 10/500 2026-11-09 08:00 by IhnEQauGmT3K
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 06:32 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-09 00:14 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +3 yexuqing 2026-11-04 5/250 2026-11-07 13:22 by 苏东坡二世
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 12/600 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭