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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 【讨论】氧化锌薄膜的导电问题
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shi_shi_we

新虫 (初入文坛)

[交流] 【讨论】氧化锌薄膜的导电问题 已有9人参与

采用射频磁控溅射做的氧化锌薄膜，陶瓷靶，功率50，室温沉积的Zno膜，没有通氧。薄膜不导电。退火到800度都不导电。但文献都说氧化锌是可以导电的。不知原因在哪里。有没有做过氧化锌导电膜的牛人指点一下，谢谢！
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1楼 2010-10-06 15:33:10
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stardom427

木虫 (著名写手)
★ ★
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enquan123(金币+1):鼓励交流！！！ 2010-10-07 23:56:59
纯氧化锌不导电的吧？
只有掺杂后导电吧，，，比如掺铝  AZO

纯氧化锌具有束缚电子的功能，，，好像在哪见过这样的说法，，，词不达意啦
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2楼2010-10-07 12:23:43
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
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enquan123(金币+1):鼓励交流！！！ 2010-10-07 23:57:04
纯ZnO是不导电，但制备的薄膜一般都含有缺陷，溅射的ZnO含有大量氧空位，一般情况下是n型导电的。是不是没长上抑或太薄了，电阻超过你测的量程了。加大功率或通氧多试几次条件
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3楼2010-10-07 13:45:56
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shi_shi_we

新虫 (初入文坛)
★
csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-10-09 08:13:11
我自己 认为可能与衬底温度有关，不过还没有验证。常温下溅射结晶不太好，是不是这个原因。
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4楼2010-10-08 16:42:55
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poxllo2010

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
氧化锌是一种透明氧化物半导体，既然是半导体，那么纯的氧化锌是不能导电的
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changeisopportunity!
5楼2010-10-14 09:58:26
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reggiehu

木虫 (正式写手)
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引用回帖:
864870楼: Originally posted by shi_shi_we at 2010-10-06 15:33:10
采用射频磁控溅射做的氧化锌薄膜，陶瓷靶，功率50，室温沉积的Zno膜，没有通氧。薄膜不导电。退火到800度都不导电。但文献都说氧化锌是可以导电的。不知原因在哪里。有没有做过氧化锌导电膜的牛人指点一下，谢谢！

楼主你好，我现在也面临跟你一样的问题，做出来的膜不导电，用的也是陶瓷靶射频溅射，基片没法加热，请问楼主你的问题后来怎么解决的呢？谢谢
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6楼2012-05-31 10:05:03
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北极苹果熊

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
陶瓷靶材上如果有2%的Al就一定导电了
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7楼2014-05-26 09:54:46
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登顶食物链

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
看文献里说的貌似纯ZnO薄膜的电阻率都很高，但2wt%的AZO能到10e-4级。
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8楼2014-05-28 11:08:29
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fansonic

金虫 (小有名气)
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引用回帖:
4楼: Originally posted by shi_shi_we at 2010-10-08 16:42:55
我自己 认为可能与衬底温度有关，不过还没有验证。常温下溅射结晶不太好，是不是这个原因。

和衬底温度应该是没有关系的。应该是给氧不足，还有可能annealing这块也没做好。
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9楼2014-10-27 14:31:51
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
太薄？

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10楼2019-11-11 19:05:24
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