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【讨论】氧化锌薄膜的导电问题 已有9人参与
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| 采用射频磁控溅射做的氧化锌薄膜，陶瓷靶，功率50，室温沉积的Zno膜，没有通氧。薄膜不导电。退火到800度都不导电。但文献都说氧化锌是可以导电的。不知原因在哪里。有没有做过氧化锌导电膜的牛人指点一下，谢谢！ |
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4楼2010-10-08 16:42:55