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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助带绝缘层的硅片
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liuxing_217

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求助带绝缘层的硅片

我在做TFT晶体管， 请问下怎么在基片上用RF磁控溅射生长二氧化硅。
    或者哪里有带二氧化硅的硅片出售？
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1楼 2013-11-10 18:09:47
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khjxy

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
氧化硅的生长方法有PECVD，热氧化法。您不妨联系浙江的姚先生，27613921
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2楼2013-11-11 12:54:31
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juncharlene

铁虫 (初入文坛)
你好！
  我现在也是在做TFT，请问你买到硅片了没有？我也想从新买点硅片回来做，之前买到合肥科晶的，发现漏电很严重
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3楼2014-01-02 14:49:30
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