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liuxing_217

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求助带绝缘层的硅片

我在做TFT晶体管, 请问下怎么在基片上用RF磁控溅射生长二氧化硅。
    或者哪里有带二氧化硅的硅片出售?
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khjxy

铜虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
氧化硅的生长方法有PECVD,热氧化法。您不妨联系浙江的姚先生,27613921
2楼2013-11-11 12:54:31
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juncharlene

铁虫 (初入文坛)

你好!
  我现在也是在做TFT,请问你买到硅片了没有?我也想从新买点硅片回来做,之前买到合肥科晶的,发现漏电很严重
3楼2014-01-02 14:49:30
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