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liuxing_217

铁虫 (初入文坛)

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[求助] 求助带绝缘层的硅片

我在做TFT晶体管，请问下怎么在基片上用RF磁控溅射生长二氧化硅。
或者哪里有带二氧化硅的硅片出售？

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永远向前看

1楼 2013-11-10 18:09:47

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khjxy

铜虫 (初入文坛)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容

感谢参与，应助指数 +1

氧化硅的生长方法有PECVD，热氧化法。您不妨联系浙江的姚先生，27613921

2楼2013-11-11 12:54:31

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

juncharlene

铁虫 (初入文坛)

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虫号: 1024363
注册: 2010-05-21
性别: GG
专业: 半导体材料

你好！
我现在也是在做TFT，请问你买到硅片了没有？我也想从新买点硅片回来做，之前买到合肥科晶的，发现漏电很严重

3楼2014-01-02 14:49:30

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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