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YICO17

新虫 (小有名气)

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[求助] 氧化硅的腐蚀

求助求助~~各位大神，除了HF和热碱液外，还有什么溶剂可以刻蚀SiO2啊？
因为我的硅基板表面有一层氧化层氧化硅，然后我只想刻蚀掉氧化硅，用HF会同时刻蚀我的PDMS，而用热碱液又会把硅基板一起刻蚀。。。。

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1楼2013-11-01 10:19:58

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xiehaimei515

金虫 (正式写手)

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氧化硅是怎么生成的呢？

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加油

2楼2013-12-11 16:24:26

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liushui21

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找到方法了吗？我也很迷茫

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3楼2019-05-04 10:23:10

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