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YICO17

新虫 (小有名气)

[求助] 氧化硅的腐蚀

求助求助~~各位大神,除了HF和热碱液外,还有什么溶剂可以刻蚀SiO2啊?
因为我的硅基板表面有一层氧化层氧化硅,然后我只想刻蚀掉氧化硅,用HF会同时刻蚀我的PDMS,而用热碱液又会把硅基板一起刻蚀。。。。
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xiehaimei515

金虫 (正式写手)

氧化硅是怎么生成的呢?
加油
2楼2013-12-11 16:24:26
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liushui21

银虫 (正式写手)

找到方法了吗?我也很迷茫
3楼2019-05-04 10:23:10
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