版块导航
正在加载中...
客户端APP下载
论文辅导
申博辅导
登录
注册
帖子
帖子
用户
本版
应《网络安全法》要求,自2017年10月1日起,未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用,请尽快对帐号进行手机号验证,感谢您的理解与支持!
24小时热门版块排行榜
>
论坛更新日志
(706)
>
考博
(30)
>
博后之家
(29)
>
公派出国
(27)
>
论文投稿
(27)
>
导师招生
(20)
>
论文道贺祈福
(20)
>
教师之家
(20)
>
虫友互识
(19)
>
基金申请
(17)
>
考研
(17)
>
找工作
(16)
>
硕博家园
(7)
>
外文书籍求助
(4)
>
海外博后
(2)
>
文献求助
(2)
小木虫论坛-学术科研互动平台
»
网络生活区
»
有奖问答
»
有奖问答完结子版
»
磁控溅射靶材靶头跑道不正常,什么原因?
6
1/1
返回列表
查看: 1208 | 回复: 5
只看楼主
@他人
存档
新回复提醒
(忽略)
收藏
在APP中查看
本帖产生 1 个 博学EPI ,点击这里进行查看
csa5344235
木虫
(正式写手)
应助: 4
(幼儿园)
金币: 3434.1
散金: 2
沙发: 1
帖子: 566
在线: 74.4小时
虫号: 1210944
注册: 2011-02-23
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
[
求助
]
磁控溅射靶材靶头跑道不正常,什么原因?
磁控溅射靶材异常,2对中频孪生硅靶,反应溅射时,靶头位置跑道不正常,溅射成一个笑脸状?什么原因?求各位大神解惑啊!!
IMAG0297.jpg
回复此楼
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
磁控溅射靶材资料大全
» 猜你喜欢
招博士
已经有5人回复
青椒八年已不青,大家都被折磨成啥样了?
已经有6人回复
救命帖
已经有9人回复
青年基金C终止
已经有3人回复
26申博求博导推荐-遥感图像处理方向
已经有4人回复
限项规定
已经有7人回复
西南交通大学国家级人才团队2026年博士研究生招生(考核制)—机械、材料、力学方向
已经有3人回复
英文综述是否需要润色及查重
已经有5人回复
为什么nbs上溴 没有产物点出现呢
已经有9人回复
高级回复
» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:
求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样!
已经有13人回复
磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
磁控溅射中可见光波段折射率在4左右,透射率高点的靶材
已经有3人回复
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
磁控溅射中的双靶共溅射,如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量?
已经有20人回复
磁控溅射换靶材之后功率变化很大?
已经有8人回复
直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊?
已经有7人回复
关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压?
已经有5人回复
磁控溅射镀膜时对靶材纯度要求
已经有7人回复
磁控溅射靶材bondig
已经有14人回复
请问怎样用Fe2O3为靶材磁控溅射Fe3O4薄膜?
已经有5人回复
【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次?或者多久?
已经有9人回复
【交流】磁控溅射中如何避免mask(靶材支架和挡板)被溅射
已经有13人回复
【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择
已经有11人回复
【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
【资源】推荐一批磁控溅射靶材相关的论坛or网站
已经有6人回复
1楼
2013-09-29 21:20:03
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
黄瓜一样冰凉
金虫
(小有名气)
博学EPI: 1
应助: 7
(幼儿园)
金币: 1973.4
散金: 32
红花: 3
帖子: 282
在线: 194.5小时
虫号: 417219
注册: 2007-07-01
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
csa5344235: 金币+5, 博学EPI+1, 磁场分布没问题啊!
2013-10-01 07:51:21
没太看得清楚你的图片。要是能再补发两张就好了。初步的的话可以检查端头的磁场分布情况。
赞
一下
回复此楼
2楼
2013-09-30 03:50:08
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
letter_2
铁杆木虫
(著名写手)
应助: 11
(小学生)
金币: 5765.3
散金: 500
红花: 18
帖子: 1312
在线: 931.5小时
虫号: 2476175
注册: 2013-05-22
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
csa5344235: 金币+5, 磁场没问题啊,冷却水跟磁场分布有关系吗?
2013-10-01 07:52:22
Sputtering Gun裡面的?娏Υ盆F的磁力變弱了就會出現這種現象,
你是不是Sputtering的時候冷卻水忘記開了???
赞
一下
回复此楼
3楼
2013-09-30 03:56:22
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
shuishenwy
金虫
(小有名气)
博学EPI: 1
应助: 7
(幼儿园)
金币: 676
散金: 173
红花: 1
帖子: 251
在线: 49.6小时
虫号: 2649018
注册: 2013-09-12
性别:
MM
专业: 金属材料的微观结构
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
csa5344235: 金币+5
2013-10-01 07:51:49
磁场不是很均匀吧,还有就是可能你的靶材本身的原因
赞
一下
回复此楼
4楼
2013-09-30 09:55:47
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
letter_2
铁杆木虫
(著名写手)
应助: 11
(小学生)
金币: 5765.3
散金: 500
红花: 18
帖子: 1312
在线: 931.5小时
虫号: 2476175
注册: 2013-05-22
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
冷卻水忘記開,因為溫度高,?娏Υ盆F會慢慢消磁,磁場就會出問題。
赞
一下
回复此楼
5楼
2013-10-01 12:59:42
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
spyan581
木虫
(著名写手)
欣星赏月
应助: 11
(小学生)
金币: 1724.1
红花: 7
帖子: 1874
在线: 460.1小时
虫号: 603093
注册: 2008-09-15
性别: GG
专业: 碳素材料与超硬材料
【答案】应助回帖
图片不是太清悉,好像有因真空中的高温熔化,电弧打火引起烧蚀及氧化。共同讨论,不一定正确,供参考。
赞
一下
回复此楼
与君共学共进
6楼
2013-10-02 00:37:07
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
相关版块跳转
有奖问答中转子版
有奖问答完结子版
我要订阅楼主
csa5344235
的主题更新
6
1/1
返回列表
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭
确定