24小时热门版块排行榜    

查看: 1327  |  回复: 5
本帖产生 1 个 博学EPI ,点击这里进行查看

csa5344235

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射靶材靶头跑道不正常,什么原因?

磁控溅射靶材异常,2对中频孪生硅靶,反应溅射时,靶头位置跑道不正常,溅射成一个笑脸状?什么原因?求各位大神解惑啊!!
磁控溅射靶材靶头跑道不正常,什么原因?
IMAG0297.jpg

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖置顶 ( 共有1个 )

黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
csa5344235: 金币+5, 博学EPI+1, 磁场分布没问题啊! 2013-10-01 07:51:21
没太看得清楚你的图片。要是能再补发两张就好了。初步的的话可以检查端头的磁场分布情况。
2楼2013-09-30 03:50:08
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

letter_2

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
csa5344235: 金币+5, 磁场没问题啊,冷却水跟磁场分布有关系吗? 2013-10-01 07:52:22
Sputtering Gun裡面的?娏Υ盆F的磁力變弱了就會出現這種現象,
你是不是Sputtering的時候冷卻水忘記開了???
3楼2013-09-30 03:56:22
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shuishenwy

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
csa5344235: 金币+5 2013-10-01 07:51:49
磁场不是很均匀吧,还有就是可能你的靶材本身的原因
4楼2013-09-30 09:55:47
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

letter_2

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

冷卻水忘記開,因為溫度高,?娏Υ盆F會慢慢消磁,磁場就會出問題。
5楼2013-10-01 12:59:42
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月

【答案】应助回帖

图片不是太清悉,好像有因真空中的高温熔化,电弧打火引起烧蚀及氧化。共同讨论,不一定正确,供参考。
与君共学共进
6楼2013-10-02 00:37:07
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 csa5344235 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +3 西山十月 2026-08-09 3/150 2026-08-09 19:39 by Tide man
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[考博] 【2027博士申请】纳米药物递送方向 20+3 13586093586 2026-08-03 5/250 2026-08-08 21:54 by 13586093586
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:27 by oEVWOejN9taj
[硕博家园] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:19 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 WQyTGMbfH7Cx 2026-08-07 4/200 2026-08-08 15:02 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 4/200 2026-08-08 14:27 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:22 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:01 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 基金中了 +14 laoda193707 2026-08-06 14/700 2026-08-08 00:23 by 实验小白ha
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 娱乐 +6 Tide man 2026-08-03 6/300 2026-08-07 22:40 by 铁帽子农民
[基金申请] 大家散了吧,后缀研究没有意义,别浪费时间了,过好目前的每一天,不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 好消息?这个有何含义??? +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[基金申请] 什么时候能放榜呀? +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
请填处理意见