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chery2005

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗

如题,在2*10-4pa的本底真空下,用射频电源溅射二氧化硅靶材,会有氧产生吗,还是说溅射出来的都是二氧化硅分子呢。
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hjhqq8768029

新虫 (小有名气)

mark 学习一下

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
5楼2015-01-11 22:33:30
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muxi126

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
chery2005: 金币+1, 有帮助 2013-06-17 14:06:32
溅射氧化锌会有微量氧气产生的,可以通过文献查看等离子体的能量是否大于二氧化硅的键能,大于的话肯定有的。溅射二氧化硅不是通入氧气和氩气的混合气体实现的吗,我们是这样实验的。
尽人事,听天命。
2楼2013-06-17 13:44:46
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chery2005

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by muxi126 at 2013-06-17 13:44:46
溅射氧化锌会有微量氧气产生的,可以通过文献查看等离子体的能量是否大于二氧化硅的键能,大于的话肯定有的。溅射二氧化硅不是通入氧气和氩气的混合气体实现的吗,我们是这样实验的。

没有,我是要在基地上溅射出二氧化硅,用的是石英玻璃靶材。溅射时通入氩气,轰击玻璃表面溅射出二氧化硅,不知道这个过程中有没有氧产生
3楼2013-06-17 13:51:41
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
2楼: Originally posted by muxi126 at 2013-06-17 14:44:46
溅射氧化锌会有微量氧气产生的,可以通过文献查看等离子体的能量是否大于二氧化硅的键能,大于的话肯定有的。溅射二氧化硅不是通入氧气和氩气的混合气体实现的吗,我们是这样实验的。

应该是有的吧
4楼2013-06-17 15:58:04
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