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chery2005铜虫 (初入文坛)
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[求助]
磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
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| 如题，在2*10-4pa的本底真空下，用射频电源溅射二氧化硅靶材，会有氧产生吗，还是说溅射出来的都是二氧化硅分子呢。 |
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