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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
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chery2005

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗

如题，在2*10-4pa的本底真空下，用射频电源溅射二氧化硅靶材，会有氧产生吗，还是说溅射出来的都是二氧化硅分子呢。
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1楼 2013-06-17 13:01:03
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by muxi126 at 2013-06-17 14:44:46
溅射氧化锌会有微量氧气产生的，可以通过文献查看等离子体的能量是否大于二氧化硅的键能，大于的话肯定有的。溅射二氧化硅不是通入氧气和氩气的混合气体实现的吗，我们是这样实验的。

应该是有的吧
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4楼2013-06-17 15:58:04
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