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chery2005铜虫 (初入文坛)
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磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
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| 如题,在2*10-4pa的本底真空下,用射频电源溅射二氧化硅靶材,会有氧产生吗,还是说溅射出来的都是二氧化硅分子呢。 |
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muxi126
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2楼2013-06-17 13:44:46
chery2005
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4楼2013-06-17 15:58:04
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