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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PLD 沉积薄膜
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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[求助] PLD 沉积薄膜

通过PLD在同样材料的单晶和多晶基底上生长薄膜材料，发现同样的操作条件，在多晶基底上沉积得到的薄膜的XRD结果和靶材的XRD是一样的，但是在单晶基底上得到的XRD的峰和靶材的峰没有一个能匹配上。也尝试过不同的单晶基底，但通常只有在61-62之间会有一个很强的峰(也不属于靶材)，请教这是原因啊？

xrd.JPG
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1楼 2013-03-15 13:39:45
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wu1008

金虫 (著名写手)
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-16 09:04:24
长什么材料，用什么基片？
什么东西都没有，你期望有什么回复？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2013-03-15 16:04:58
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-15 16:04:58
长什么材料，用什么基片？
什么东西都没有，你期望有什么回复？

不好意思啊，帖子修改不了，我是在LAO（001）,STO（001）,MgO（001）上长了SDC(就是Sm0.2Ce0.8Ox)，谢谢啊
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3楼2013-03-15 22:51:24
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-15 16:04:58
长什么材料，用什么基片？
什么东西都没有，你期望有什么回复？

还用到的单晶和多晶的基片是8YSZ，就是8 mol%氧化钇稳定的氧化锆
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4楼2013-03-15 22:57:03
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-16 09:04:34
cdj2593: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢 2 theta 在61-62度之间 2013-03-16 10:30:50
应该给出 2 theta 角吧，看你这么尖锐的峰，很可能是衬底的峰
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5楼2013-03-16 00:02:59
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
cdj2593: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢 2013-03-16 10:31:46
引用回帖:
3楼: Originally posted by cdj2593 at 2013-03-15 22:51:24
不好意思啊，帖子修改不了，我是在LAO（001）,STO（001）,MgO（001）上长了SDC(就是Sm0.2Ce0.8Ox)，谢谢啊...

除了MgO我没试过外，这几个基片上长外延的CeO2都是很简单的
长你这个材料应该不难
你的沉积参数和XRD的结果是怎么样的？
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6楼2013-03-16 02:38:53
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
6楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-16 02:38:53
除了MgO我没试过外，这几个基片上长外延的CeO2都是很简单的
长你这个材料应该不难
你的沉积参数和XRD的结果是怎么样的？...

谢谢，沉积参数：我目前尝试的沉积温度有800 C(800C-30min)，750 C(750 C-30min)，700 C(700 C-60min)，650 C(650 C-60min)，括号内是退火温度和时间；沉积的激光频率用过10 Hz和5 Hz，激光是Nd-YAG的，能量密度在4-5 J cm-2；沉积时的分压尝试过75m Torr和150 m Torr；退火时的氧压在400 Torr。
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7楼2013-03-16 10:39:25
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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6楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-16 02:38:53
除了MgO我没试过外，这几个基片上长外延的CeO2都是很简单的
长你这个材料应该不难
你的沉积参数和XRD的结果是怎么样的？...

这两张XRD图都是SDC长在单晶YSZ上的，,用的是thin film的扫描模式，峰强度在1000左右，请指教，用到的参数有650 C （650 C-60min），频率5Hz，沉积时的分压75m Torr，退火时的氧压在400 Torr。根据多晶的SEM结果，厚度大概在200 nm左右。谢谢

xrd.JPG



xrd2.JPG
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8楼2013-03-16 10:56:44
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
6楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-16 02:38:53
除了MgO我没试过外，这几个基片上长外延的CeO2都是很简单的
长你这个材料应该不难
你的沉积参数和XRD的结果是怎么样的？...

下面是我在75 mTorr 时的plume的形貌，还有就是当我把分压降到20 mTorr左右时靶材发射出来的羽辉是非常大，看不到图中亮光聚集的感觉，不知道有经验的前辈的操作参数如何，羽辉如何，请赐教，非常感谢

plume.jpg
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9楼2013-03-16 11:11:28
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wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by cdj2593 at 2013-03-16 10:56:44
这两张XRD图都是SDC长在单晶YSZ上的，,用的是thin film的扫描模式，峰强度在1000左右，请指教，用到的参数有650 C （650 C-60min），频率5Hz，沉积时的分压75m Torr，退火时的氧压在400 Torr。根据多晶的SEM结果， ...

我没有用过thin film 模式
你用theta-2theta模式试一下
你这个参数应该没问题的

另外，你的退火是在腔里原位退火，
还是拿出来在管式炉或者马弗炉退的？

还有，你这个峰比较弱，是不是光路没调好
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10楼2013-03-16 11:30:00
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