| ²é¿´: 2011 | »Ø¸´: 5 | |||
[½»Á÷]
¡¾Çë½Ì¡¿Ôõô²âÊÔµÈÀë×Ó»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý£¨PECVD£©µÄµª»¯¹è±¡Ä¤ÄÚÓ¦Á¦£¿ ÒÑÓÐ2È˲ÎÓë
|
|
¼û±êÌâ лл£¡£¡£¡ |
» ²ÂÄãϲ»¶
290Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ9È˻ظ´
321Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
326Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ5È˻ظ´
¶«ÄÏ´óѧ364Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
085600²ÄÁÏÓ뻯¹¤ Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ13È˻ظ´
Ò»Ö¾Ô¸985£¬±¾¿Æ211£¬0817»¯Ñ§¹¤³ÌÓë¼¼Êõ319Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
311Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ6È˻ظ´
0703»¯Ñ§µ÷¼Á 290·ÖÓпÆÑоÀú£¬ÂÛÎÄÔÚͶ
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
»¯Ñ§¹¤³Ì321·ÖÇóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ6È˻ظ´
±¾ÈË¿¼085602 »¯Ñ§¹¤³Ì ר˶
ÒѾÓÐ9È˻ظ´
» ±¾Ö÷ÌâÏà¹Ø¼ÛÖµÌùÍÆ¼ö£¬¶ÔÄúͬÑùÓаïÖú:
·ÖÎö»¯Ñ§×îÐÂÆÚ¿¯»ã×ܵÚÒ»¼¾£¨10ƪ£©
ÒѾÓÐ28È˻ظ´
vaspÖеĻ¯Ñ§¼üÔõôÌåÏÖ³öÀ´ÄØ£¿
ÒѾÓÐ18È˻ظ´
½ô¼±ÇóÖú£ºHÆ×»¯Ñ§Î»ÒÆÒ»Ñù¡¢·åÃæ»ý²»Í¬£¬ÊÇ·ñ˵Ã÷ÊDz»Í¬»ìºÏÎ
ÒѾÓÐ3È˻ظ´
¼ÆËã Gaussian 03ÒѾ Ū»µÁ½Ì¨µçÄÔÁË~~~~~
ÒѾÓÐ46È˻ظ´
µç»¯Ñ§¹¤×÷Õ¾µÄöùÓã¼Ð
ÒѾÓÐ5È˻ظ´
2012ÄêÀíÂÛÓë¸ßÐÔÄܼÆË㻯ѧ¹ú¼Ê»áÒé
ÒѾÓÐ60È˻ظ´
¸ß˹Ëã×ÏÍâÎó²îºÜ´ó£¬Õ¦°ì£¿
ÒѾÓÐ14È˻ظ´
Ò©Ã÷¿µµÂÒ©ÎﻯѧһС×éÕÐÈË
ÒѾÓÐ33È˻ظ´
ÓÉµç³Øµç¶¯ÊÆÇ󻺳åÈÜÒºµÄph
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
ÖпÆÔº»¯Ñ§Ëù¿¼ÑÐ
ÒѾÓÐ7È˻ظ´
ÖпÆÔº³¤´ºÓ¦Óû¯Ñ§ËùµÄ·ÖÎö»¯Ñ§ÔõôÑù£¿¿¼ÑÐÄÑ¶ÈºÍÆäËû¸ßУ±È£¿
ÒѾÓÐ9È˻ظ´
´ÓHe2µÈµÄÁ¿×Ó»¯Ñ§Í¼Ðνâ¶Á·¶µÂ»ª×÷ÓÃ(Ðø)
ÒѾÓÐ34È˻ظ´
axiom0409
гæ (³õÈëÎÄ̳)
- Ó¦Öú: 0 (Ó×¶ùÔ°)
- Ìû×Ó: 11
- ÔÚÏß: 5·ÖÖÓ
- ³æºÅ: 526414
- ×¢²á: 2008-03-16
- רҵ: materials
¡ï
Сľ³æ(½ð±Ò+0.5):¸ø¸öºì°ü£¬Ð»Ð»»ØÌû½»Á÷
Сľ³æ(½ð±Ò+0.5):¸ø¸öºì°ü£¬Ð»Ð»»ØÌû½»Á÷
|
åƒÔÚsilicon waferÉÏÀûÓÃproflometerÁ¿œyǰááÇúÂÊ »òÀûÓÃÀ×Éä’ßÃè·¨Ò²¿ÉÁ¿µÃresidual stress |
2Â¥2009-11-25 20:16:07
3Â¥2009-11-25 23:04:09
gdahai
Òø³æ (³õÈëÎÄ̳)
- Ó¦Öú: 0 (Ó×¶ùÔ°)
- ½ð±Ò: 357.6
- É¢½ð: 7
- Ìû×Ó: 40
- ÔÚÏß: 13Сʱ
- ³æºÅ: 794926
- ×¢²á: 2009-06-15
- רҵ: ½ðÊô½á¹¹²ÄÁÏ
4Â¥2009-11-25 23:19:12
tanchengwen
½ð³æ (ÕýʽдÊÖ)
- Ó¦Öú: 13 (СѧÉú)
- ½ð±Ò: 5349.4
- É¢½ð: 2
- ºì»¨: 5
- Ìû×Ó: 945
- ÔÚÏß: 596.8Сʱ
- ³æºÅ: 1064460
- ×¢²á: 2010-07-26
- ÐÔ±ð: GG
- רҵ: ¼«¶ËÌõ¼þÏÂʹÓõĽðÊô²ÄÁÏ
5Â¥2010-08-24 23:18:05
´óµ±¼Ò
ͳæ (СÓÐÃûÆø)
- Ó¦Öú: 1 (Ó×¶ùÔ°)
- ½ð±Ò: 181.3
- É¢½ð: 50
- Ìû×Ó: 73
- ÔÚÏß: 19.9Сʱ
- ³æºÅ: 855204
- ×¢²á: 2009-09-23
- ÐÔ±ð: GG
- רҵ: µÈÀë×ÓÌåÎïÀí
6Â¥2012-03-08 13:58:24













»Ø¸´´ËÂ¥