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darkbluex

[交流] 【请教】怎么测试等离子化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜内应力? 已有2人参与

见标题
谢谢!!!
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axiom0409

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
鍍在silicon wafer上利用proflometer量測前後曲率
或利用雷射掃描法也可量得residual stress
2楼2009-11-25 20:16:07
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darkbluex

谢谢!

请问第一个是什么测试方法呢, 仪器用什么呢
雷射扫描仪。。。。
能具体说说吗
3楼2009-11-25 23:04:09
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gdahai

银虫 (初入文坛)

受教了!谢了
4楼2009-11-25 23:19:12
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tanchengwen

金虫 (正式写手)


guxue(金币+1):鼓励交流 2010-08-25 07:56:02
x射线衍射仪
5楼2010-08-24 23:18:05
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大当家

铜虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
内容已删除
6楼2012-03-08 13:58:24
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