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【请教】怎么测试等离子化学气相沉积（PECVD）的氮化硅薄膜内应力？ 已有2人参与
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2楼2009-11-25 20:16:07
3楼2009-11-25 23:04:09
4楼2009-11-25 23:19:12
tanchengwen
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