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darkbluex

[交流] 【请教】怎么测试等离子化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜内应力?已有2人参与

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谢谢!!!
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darkbluex

谢谢!

请问第一个是什么测试方法呢, 仪器用什么呢
雷射扫描仪。。。。
能具体说说吗
3楼2009-11-25 23:04:09
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axiom0409

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
鍍在silicon wafer上利用proflometer量測前後曲率
或利用雷射掃描法也可量得residual stress
2楼2009-11-25 20:16:07
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