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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】怎么测试等离子化学气相沉积（PECVD）的氮化硅薄膜内应力？
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darkbluex

[交流] 【请教】怎么测试等离子化学气相沉积（PECVD）的氮化硅薄膜内应力？ 已有2人参与

见标题
谢谢！！！
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1楼 2009-11-23 22:00:09
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axiom0409

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
鍍在silicon wafer上利用proflometer量測前後曲率
或利用雷射掃描法也可量得residual stress
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2009-11-25 20:16:07
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darkbluex

谢谢！

请问第一个是什么测试方法呢， 仪器用什么呢
雷射扫描仪。。。。
能具体说说吗
赞一下 回复此楼
3楼2009-11-25 23:04:09
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gdahai

银虫 (初入文坛)
受教了！谢了
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4楼2009-11-25 23:19:12
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tanchengwen

金虫 (正式写手)
★
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-08-25 07:56:02
x射线衍射仪
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5楼2010-08-24 23:18:05
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大当家

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
内容已删除
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6楼2012-03-08 13:58:24
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