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cdj2593木虫 (正式写手)
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PLD 沉积薄膜
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通过PLD在同样材料的单晶和多晶基底上生长薄膜材料,发现同样的操作条件,在多晶基底上沉积得到的薄膜的XRD结果和靶材的XRD是一样的,但是在单晶基底上得到的XRD的峰和靶材的峰没有一个能匹配上。也尝试过不同的单晶基底,但通常只有在61-62之间会有一个很强的峰(也不属于靶材),请教这是原因啊? xrd.JPG |
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caoxiafei
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5楼2013-03-16 00:02:59
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3楼2013-03-15 22:51:24
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