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薄膜沉积过程中的扩散速率和沉积速率比较
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| 用MC模拟薄膜生长时，扩散速率远大于沉积速率（一个约1e-6量级，一个1e-11量级），在比较速率倒数时，总要发生数万个扩散事件才能发生下一次沉积（至少在沉积之初是这样），这样导致计算量非常大（数万个原子，如果再每个原子扩散数万次就太可怕了），这个问题该怎么解决，又或者是我在建模各个事件概率模型时需要加入怎样的考虑呢！谢谢大家的讨论和帮助，祝天天向上！ |
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2楼2011-08-19 05:46:49
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御剑江湖(金币+2): 鼓励 2011-08-26 20:51:51
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什么图？可现在是算都算不出来结果 实在要花太长时间！ while(SurAtoms.size()<1e4) { //执行沉积事件,原子总数加一 atomsCOOR = DeposEvent.Launch(Flag); atom.SetAtomPos(atomsCOOR[0],atomsCOOR[1],atomsCOOR[2]); SurAtoms.push_back(atom); //判断沉积时间是否大于扩散所需时间 if(!depORdif.DepOrDif(SurAtoms,Flag))//bool变量为非,沉积时间大于扩散时间，执行扩散事件 { delta = depORdif.GettDepo();//将沉积速率倒数赋予delta while(delta>0) { index = SurDif.DeterminWhichClass(SurAtoms,Flag);//选择执行扩散事件的原子 SurAtoms[index].surfDiffuse(Flag);//执行扩散事件，并更新flag列表 delta -= (1/SurDif.GetTotal());//沉积时间进行更新，减去扩散时间 } } |
3楼2011-08-19 15:51:50
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御剑江湖(金币+2): 鼓励 2011-08-26 20:50:58
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沉积事件发生的时间为 tDepo = 1/(rateDepo*dimensionX*dimensionY)； 扩散事件发生时间为： tDiff = 1/Σ(V)；V为不同扩散事件发生的速率 假定沉积速率为10ML/s，dimensionX = dimensionY =10mm, 则tDepo约为0.1cm^2/s^-1 扩散速率根据文献中采用的表面原子扩散速率与配位数关系，#不同配位原子数时的扩散速率前置因子(cm^2/s)，顺序为NN=0，1，2，3 4.6e-4 5.2e-3 4.4e-3 1.0e-3 #不同配位原子数时的扩散激活能(eV)，顺序为NN=0，1，2，3 0.1 0.53 0.28 0.60 由于是个指数关系，结果那个扩散能影响非常大，算出来tDif的量级约为1e-6 |
4楼2011-08-19 16:00:38
5楼2011-08-26 09:40:07
6楼2011-08-26 20:50:52
