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上官七七

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜沉积过程中的扩散速率和沉积速率比较

用MC模拟薄膜生长时,扩散速率远大于沉积速率(一个约1e-6量级,一个1e-11量级),在比较速率倒数时,总要发生数万个扩散事件才能发生下一次沉积(至少在沉积之初是这样),这样导致计算量非常大(数万个原子,如果再每个原子扩散数万次就太可怕了),这个问题该怎么解决,又或者是我在建模各个事件概率模型时需要加入怎样的考虑呢!谢谢大家的讨论和帮助,祝天天向上!
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德胜才即君子
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zyj8119

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

上官七七(金币+1): 谢谢帮助,我已附上思路,求分析考虑不当之处 2011-08-19 16:01:36
引用回帖:
1楼: Originally posted by 上官七七 at 2011-08-17 21:28:23:
用MC模拟薄膜生长时,扩散速率远大于沉积速率(一个约1e-6量级,一个1e-11量级),在比较速率倒数时,总要发生数万个扩散事件才能发生下一次沉积(至少在沉积之初是这样),这样导致计算量非常大(数万个原子,如 ...

无图无真相。。。。
好好学习,天天向上。
2楼2011-08-19 05:46:49
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上官七七

金虫 (小有名气)

★ ★
御剑江湖(金币+2): 鼓励 2011-08-26 20:51:51
什么图?可现在是算都算不出来结果  实在要花太长时间!
while(SurAtoms.size()<1e4)
        {
                //执行沉积事件,原子总数加一
                atomsCOOR = DeposEvent.Launch(Flag);
                atom.SetAtomPos(atomsCOOR[0],atomsCOOR[1],atomsCOOR[2]);
                SurAtoms.push_back(atom);

                //判断沉积时间是否大于扩散所需时间
                if(!depORdif.DepOrDif(SurAtoms,Flag))//bool变量为非,沉积时间大于扩散时间,执行扩散事件
                {
                        delta = depORdif.GettDepo();//将沉积速率倒数赋予delta
                        while(delta>0)
                        {
                                index = SurDif.DeterminWhichClass(SurAtoms,Flag);//选择执行扩散事件的原子
                                SurAtoms[index].surfDiffuse(Flag);//执行扩散事件,并更新flag列表
                                delta -= (1/SurDif.GetTotal());//沉积时间进行更新,减去扩散时间
                        }
                }
德胜才即君子
3楼2011-08-19 15:51:50
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上官七七

金虫 (小有名气)

★ ★
御剑江湖(金币+2): 鼓励 2011-08-26 20:50:58
沉积事件发生的时间为   tDepo = 1/(rateDepo*dimensionX*dimensionY);
扩散事件发生时间为:   tDiff = 1/Σ(V);V为不同扩散事件发生的速率
假定沉积速率为10ML/s,dimensionX = dimensionY =10mm, 则tDepo约为0.1cm^2/s^-1
扩散速率根据文献中采用的表面原子扩散速率与配位数关系,#不同配位原子数时的扩散速率前置因子(cm^2/s),顺序为NN=0,1,2,3
4.6e-4 5.2e-3 4.4e-3 1.0e-3

#不同配位原子数时的扩散激活能(eV),顺序为NN=0,1,2,3
0.1 0.53 0.28 0.60

由于是个指数关系,结果那个扩散能影响非常大,算出来tDif的量级约为1e-6
德胜才即君子
4楼2011-08-19 16:00:38
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贺仪

铁杆木虫 (著名写手)

兄台,你做的是原子的沉积吗?
嘟啦啦嘟啦啦嘟
5楼2011-08-26 09:40:07
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上官七七

金虫 (小有名气)

德胜才即君子
6楼2011-08-26 20:50:52
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