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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 怎样可以把ZnO薄膜做的更好些呢
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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coobi

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 怎样可以把ZnO薄膜做的更好些呢

小弟日前在沉积ZnO薄膜，但由于是第一次做，不知道该控制哪些条件，或者说哪些条件毕竟关键，而且也不知道沉积后的薄膜怎样才算是毕竟好的？如果用肉眼看的话，沉积毕竟好的会是个什么特征呢？

    求助


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1楼 2012-01-14 08:54:57
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-15 07:47:46
物理方法制备的ZnO薄膜较好，但是不同的设备，不同的方法，实验条件不一样，多看文献，摸索实验条件。
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coobi
我~心~依~旧
2楼2012-01-14 11:14:08
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zr632613149

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-15 07:48:23
看你用什么方法制备氧化锌薄膜了，我知道磁控溅射生长的氧化锌质量不错。具体要控制的参数有很多，但氩氧比，溅射温度，真空度（这个当然是越高越好），还有就是溅射功率，溅射压强，上面这些应该是比较重要的。希望能帮到楼主一点点。
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coobi
爱好自由
6楼2012-05-14 19:37:12
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普通回帖

coobi

铁杆木虫 (正式写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by yuan999 at 2012-01-14 11:14:08:
物理方法制备的ZnO薄膜较好，但是不同的设备，不同的方法，实验条件不一样，多看文献，摸索实验条件。

ths
3楼2012-01-14 13:40:15
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fanyino

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果在实验室的话，水热反应貌似也可以的，在知网搜索一下文献吧。
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好好学习，天天向上
4楼2012-01-15 08:54:23
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coobi

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
楼: Originally posted by fanyino at 2012-01-15 08:54:23:
如果在实验室的话，水热反应貌似也可以的，在知网搜索一下文献吧。

这样啊，谢谢
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5楼2012-01-15 10:16:34
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 辛苦······ 2012-05-15 07:48:14
长膜的话可用磁控溅射 不知你们实验室是否有设备
如果条件有限可以用水热法 买个烘箱和几个高压釜
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
7楼2012-05-14 22:01:50
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want1

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用磁控做好，镀的膜均匀，也很透明，关键是实验可重复性好
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8楼2012-05-15 08:29:18
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coobi

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by fanyino at 2012-01-15 08:54:23:
如果在实验室的话，水热反应貌似也可以的，在知网搜索一下文献吧。

哦，我试试，谢谢啦
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9楼2012-05-16 06:45:39
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coobi

铁杆木虫 (正式写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by zr632613149 at 2012-05-14 19:37:12:
看你用什么方法制备氧化锌薄膜了，我知道磁控溅射生长的氧化锌质量不错。具体要控制的参数有很多，但氩氧比，溅射温度，真空度（这个当然是越高越好），还有就是溅射功率，溅射压强，上面这些应该是比较重要的。希 ...

这个太重要了，我马上就要用溅射了，肯定能用上，谢谢
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10楼2012-05-16 06:46:26
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