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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » pld牛人请进，用pld长薄膜为什么会掉下来呢
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期待钝化

银虫 (小有名气)

[求助] pld牛人请进，用pld长薄膜为什么会掉下来呢

本人用pld在200摄氏度长得薄膜，总是拿出来之后就会爆裂，掉下来，为什么？求解决
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everythingispossible!
1楼 2012-11-30 15:12:57
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

玻璃不干净、长得太厚都容易剥落的   你要说清楚一些才能分析
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8楼2012-12-04 10:10:09
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wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 期待钝化 at 2012-12-04 08:46:36
AZO，玻璃衬底上，你怎么看？...

你多少度沉积？

这个可能你的基片没清洗好
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9楼2012-12-04 11:07:00
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普通回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
你长什么材料

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2012-12-01 16:29:01
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fangyong1788

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
退火温度是不是低了
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3楼2012-12-02 10:41:06
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
什么材料，在什么衬底上？
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^V^
4楼2012-12-02 11:20:10
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期待钝化

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-12-01 16:29:01
你长什么材料

AZO
5楼2012-12-04 08:45:54
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期待钝化

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 大水杯 at 2012-12-02 11:20:10
什么材料，在什么衬底上？

AZO，玻璃衬底上，你怎么看？
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everythingispossible!
6楼2012-12-04 08:46:36
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
引用回帖:
6楼: Originally posted by 期待钝化 at 2012-12-04 08:46:36
AZO，玻璃衬底上，你怎么看？...

没做过不太懂。能不能用点粘附剂之类的材料
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^V^
7楼2012-12-04 09:30:52
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期待钝化

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-12-04 10:10:09
玻璃不干净、长得太厚都容易剥落的   你要说清楚一些才能分析

问题是之前都做过，没脱落，现在为什么就脱落了呢？
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everythingispossible!
10楼2012-12-05 11:19:46
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