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期待钝化

银虫 (小有名气)

[求助] pld牛人请进,用pld长薄膜为什么会掉下来呢

本人用pld在200摄氏度长得薄膜,总是拿出来之后就会爆裂,掉下来,为什么?求解决
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everythingispossible!
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wu1008

金虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 期待钝化 at 2012-12-04 08:46:36
AZO,玻璃衬底上,你怎么看?...

你多少度沉积?

这个可能你的基片没清洗好
9楼2012-12-04 11:07:00
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查看全部 21 个回答

wu1008

金虫 (著名写手)

你长什么材料

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2012-12-01 16:29:01
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fangyong1788

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
退火温度是不是低了
3楼2012-12-02 10:41:06
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

什么材料,在什么衬底上?
^V^
4楼2012-12-02 11:20:10
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